工艺开发:为实现光器件的量产化~应对新产品的工艺技术开发~
外延生长技术和干法蚀刻
将设计阶段提出的产品规格,通过工艺开发转化为具体形态,这正是SEDI实力的根源。工艺开发的核心环节之一是化合物半体外延生长技术。该技术通过在晶体衬底(晶圆)上精准描摹其晶体结构,形成并堆叠新的晶体薄层。凭借此项技术,能够制备出具有特定功能的高质量半导体层。
具体工艺是将有机金属原料与移动该金属的气体一同导入晶体生长炉,在加热至约600℃的晶体衬底上进行热分解,从而形成纳米级薄膜。因此,温度与压力的控制以及适宜气体的选择对晶体质量具有至关重要的影响。SEDI通过长年积累开发的外延生长技术,现已能够实现高精度、高均匀性的高质量薄膜制备。
干法刻蚀与此工序交替进行。该技术是为实现激光芯片小型化而研发,通过气体与等离子体对衬底进行刻蚀,从而根据设计高精度地制作出精细的电路图案。SEDI拥有独特的干法刻蚀技术,能够流畅地构建微细光路,并精准加工特征结构。这些技术与外延生长技术共同构成了SEDI的核心技术体系。
通过全新化合物半导体来提升特性
工艺开发部的渡边冬马自入职以来便一直负责改良外延生长技术。他从学生时代开始便开始埋首于这项技术。
“光器件的制造过程需要反复进行外延生长与刻蚀,即沉积与雕琢的循环。我一直致力于改进EML的性能——通过加快光闪烁频率、发送更清晰的信号,从而提升光通信速率。其中的关键在于调制器对光的吸收能力。寻找适用于调制器多量子阱结构的最优化合物曾极具挑战,但我坚持推进工艺研发,最终成功实现了量产。”(渡边)
实现了多重量子阱构造优化的渡边继续深入探究外延生长的工艺,致力于成为半导体制造专家。
从2英寸晶圆到4英寸大直径晶圆
以生产设备的优化和稳定化为目标
日本以外制造网点
越南网点的举措
―Sumiden Device Innovations Vietnam Co., Ltd.
SEDI的制造基地位于横滨、山梨以及越南胡志明市附近的海外工厂。位于越南的Sumiden Device Innovations Vietnam Co., Ltd.(以下简称SEDV)负责制造搭载豪门国际PG官方电工自制激光芯片的光?。SEDV核心产品的突出特点在于小型化、高光输出及低功耗。例如,在约智能手机nanoSIM卡(最小尺寸SIM卡)大小的封装内,通过多种精密接合技术组装约20个极细微的元件。SEDI的研发与制造人员协同设计时始终着眼于稳定量产;而SEDV更进一步,通过彻底优化组装与检测方法,成功缩短了工时并提升了产能。General Director佐治祯基负责统管前述所有业务。
“展望未来,我认为关键在于思考如何实现高效的产品制造。通过稳固立足根基,并积极主动地融入新颖且具有前瞻性的理念与技术,豪门国际PG官网期望能作为高性能光?榈闹匾圃旎,发挥应有的贡献作用。”(佐治)。
通过推进高效制造、维护和优化稳定的大规模量产、增产等举措,SEDV为SEDI提供了强有力的支持。
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